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真空電機新標桿 |
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第二代真空無鐵芯直線電機系列的設(shè)計基于與高端半導(dǎo)體制造商的多年合作經(jīng)驗，考慮到了真空應(yīng)用的獨特挑戰(zhàn)。該產(chǎn)品系列適用于最嚴格的真空要求，具有較大的推力范圍。
最佳的熱性能、更高的安全性、出色的 RGA 性能、更低的放氣和安裝靈活性使第二代真空電機系列成為真空應(yīng)用中運動的標桿。第二代真空電機系列提供多種繞組類型和線圈單元尺寸，總能給客戶提供最適合的直驅(qū)電機。
直驅(qū)電機可無縫集成到各種應(yīng)用中，如半導(dǎo)體、機床、機器人、顯示應(yīng)用和印刷行業(yè)。 |
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